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DM直流磁控溅射电源
DB(直流偏压电源)
DI(直流离子源)
DA(弧电源)
DE(电镀电源)
UB(单极脉冲偏压电源
UM(单极脉冲磁控溅射电源)
UI(单极脉冲离子源)
BSM(中频磁控溅射电源)
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