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四川省海创电气有限责任公司
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BAM（非对称双极脉冲磁控溅射电源）：可单靶或双靶工作，双靶工作时两个靶的材料和尺寸都可以不同，每个靶的溅射电流可分别设定，单靶工作时也可以减少电荷积累引起的异常放电。适合于镀制碳化物、氧化物、氮化物等膜层，双靶运用右方便控制膜层成分比。
B系列双极性电源采用****的高频逆变技术，体积小，重量轻，效率高。广泛应用于真空镀膜、感应加热、辉光清洗等领域。提供多种控制接口，方便客户实现自动控制系统的开发应用
用途 ：● 真空镀膜 ● 感应加热 ● 辉光清洗 ● 特殊定制 |
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B系列 |
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电源功率范围 |
5-100kW |
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输入电压 |
AC380V±5%, 50Hz |
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输出波形 |
BS对称双极性脉冲 |
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BA非对称双极性脉冲 |
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电源种类 |
中频磁控贱射电源 |
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微弧氧化电源 |
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工作方式 |
恒流 |
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恒流、恒功率 |
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恒压、恒流、恒功率 |
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输出稳定率 |
1%F.S |
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输出频率 |
20 kHz、40kHz 【注】 |
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输出占空比 |
80% 【 注1 】 |
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输出电压范围 |
200-1000V |
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输出电流范围 |
5-200A |
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输出接口 |
模拟0-5V或0-10V
RS485通讯 |
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通讯协议 |
MODBUS | 【注】微弧氧化电源频率为200Hz-2000Hz，其峰值电流可达到1000A
【注1】微弧氧化电源占空比可调。 |
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