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四川省海创电气有限责任公司 座机电话:028-83816322 传真:028-61905836 商务手机:13036694237(王先生)18980049103(欧先生) 咨询QQ:249428067 电子邮箱:24942867@qq.com 微信号:18980049103 地址:四川省成都市双流县西航港经济开发区腾飞7路569号 |
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UM(单极脉冲磁控溅射电源):具有平均电流稳流功能,适用于金属、合金及石墨等靶材镀制纯金属膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。能明显改善靶面电荷积累现象,减少溅射靶表面的打火次数,提高膜层质量。 U系列脉冲电源采用****的高频逆变技术,体积小,重量轻,效率高。具有自动灭弧功能。广泛应用于真空镀膜、等离子体应用等领域。提供多种控制接口,方便客户实现自动控制系统的开发应用。 用途 :● 真空镀膜 ● 特殊定制 |
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U系列 |
电源功率范围 |
5-100kW |
输入电压 |
AC380V±5%,50Hz |
输出波形 |
单极性脉冲 |
电源种类 |
磁控贱射电源 |
偏压电源 |
离子源 |
工作方式 |
恒流 |
恒压 |
输出稳定率 |
1%F.S |
输出频率 |
40 kHz 、60 kHz 80kHz |
输出占空比 |
10%~80% |
输出电压范围 |
50-1200V |
输出电流范围 |
5-100A |
输出接口 |
模拟0-5V或0-10V
RS485通讯 |
通讯协议 |
MODBUS | |
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